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S2S Räumliches ALD-System

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Das S2S Spatial ALD-System von SALD B.V. bringt atomare Präzision in die Blatt-zu-Blatt-Bearbeitung mit bis zu 300-facher Geschwindigkeit im Vergleich zu konventionellem ALD. Es arbeitet bei Atmosphärendruck und liefert ultradünne, perfekt gleichmäßige Schichten auf Substraten verschiedener Größen und Materialien. Das System wurde für die Skalierung vom Labor bis zur Produktion entwickelt und ermöglicht es Branchen wie Solar, Batterien, Elektrolyseure und Verpackung, Innovationen zu beschleunigen, Kosten zu senken und bahnbrechende Technologien schneller auf den Markt zu bringen.

Offer Details

Specifications and Deliverables:

Substratgröße: Flexibles Format; bis zu den vom Kunden definierten Abmessungen

Unterstützte Substrate: Wafer, Glas, Polymerfilme, Metalle, etc

Abscheidbare Materialien: AlOx, SnOx, TiOx, NiOx, AZO, HfOx, InOx, ZnOx, SiOx

 

Value Proposition:

Das S2S Spatial ALD-System kombiniert die Flexibilität eines F&E-Tools mit der Robustheit und dem Durchsatz, die für die Pilotproduktion erforderlich sind. Es arbeitet bei Atmosphärendruck und liefert ultradünne, gleichmäßige Schichten auf einer Vielzahl von Substraten und Materialien. Dies macht es zur idealen Plattform für die Erforschung neuer Anwendungen, die Feinabstimmung von Prozessen und die nahtlose Skalierung von Innovationen vom Labor bis zur industriellen Fertigung.

Input Required from Customer:

Fields of Application:

Wichtige Anwendungen

 

  • Solarenergie – Ultradünne und konforme Ladungstransportschichten, Passivierungsschichten und Verkapselungsbarrieren für Silizium, Perowskit-Photovoltaik und organische Photovoltaik zur Verbesserung von Effizienz, Stabilität und Lebensdauer.

  • Batterietechnologie – Konforme Beschichtungen auf Elektroden und Separatoren zur Verbesserung von Sicherheit, Stabilität und Energiedichte.

  • Grüner Wasserstoff / Elektrolyseure – Katalysatorbeschichtungen, die den Einsatz von Edelmetallen reduzieren und die Effizienz von Elektrolyseuren und Brennstoffzellen erhöhen.

  • Barrieren & Verpackungen – Leistungsstarke Feuchtigkeits- und Sauerstoffsperrschichten.

Patent/Publication Number

Main Patent Claims:

Patent Family:

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Adress:

Hastelweg 257
Eindhoven
Nordbrabant
5652 LD
Netherlands

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