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AURA-WAVE (Sairem)

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AURA-WAVE is an Electron Cyclotron Resonance (ECR) coaxial plasma source designed to self-adapt once the plasma is ignited. By combining a magnetic field with electromagnetic waves, it facilitates plasma creation at low pressures, making it suitable for applications such as PECVD, reactive ion etching, ALD, surface treatment, reactive species generation, biological decontamination, deep etching, and general etching processes.

Angebot Details

Spezifikationen und Deliverables:

• Power range: 0–450 W
• Frequency: 2.4–2.5 GHz
• Compatible gases: e.g., argon, oxygen, nitrogen
• Gas pressure range: 0.0001–0.01 mbar
• Technology Readiness Level: TRL 9

Nutzenversprechen:

• Operates effectively over a wide pressure range from 0.0001 mbar to 0.01 mbar.
• Achieves plasma densities up to 10¹¹ cm⁻³ in various gases like argon, oxygen, and nitrogen.
• Ensures minimal power loss with no need for additional impedance matching systems.
• Allows precise power control when combined with SAIREM’s solid-state microwave generator.
• Suitable for both R&D laboratories and industrial applications.

Eingabe vom Kunden erforderlich:

• Specification of the intended application (e.g., PECVD, etching).
• Details of the gases to be used.
• Required plasma density and operating pressure.
• Integration requirements with existing systems.

Patent-/Veröffentlichungsnummer

Wichtigste Patentansprüche:

Patent-Familie:

Fotos

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Standort und Karte

Adresse:

Felix-Hausdorff-Straße 2
Greifswald
Mecklenburg-Vorpommern
17489
Deutschland

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